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平面度量測機（高速）
● 由伺服馬達+研磨級滾珠絲桿驅動 ● 高采樣率、高分辨率 ● 自動檢測，通過模組和DD馬達，根據設定路徑自動對數據進行擬合計算 ● 可對產品進行高速高精度3D數據全掃，數據擬合，可對產品尺寸、高度差、平面度等進行分析檢測
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